Fraunhofer HHI Jagħżel is-Sistema ta ’Sputter ta’ Veeco

Istitut għar-riċerka dwar it-telekomunikazzjonijiet ottiċi jordna sistema ta ’sputtering b’raġġ joniku biex toħloq kisi tal-faċċati tal-lejżer u apparat mikro-ottiku.

HHI se tuża t-teknoloġija IBS ta 'Veeco biex toħloq kisi tal-faċċati tal-lejżer.

Veeco Instruments ħabbret li bagħtet is-sistema Spector Ion Beam Sputtering (IBS) tagħha u s-Sistema ta ’Monitoraġġ Ottiku Sirius lill- Istitut Fraunhofer għal Telekomunikazzjonijiet(HHI).
L-istitut, ibbażat f'Berlin, il-Ġermanja, jgħid li se juża din it-teknoloġija IBS "biex jiżviluppa u jipproduċi kisi tal-faċċati tal-lejżer u apparat mikro-ottiku ieħor".
"L-iżvilupp ta 'apparat mikro-ottiku sofistikat jirrikjedi teknoloġija ta' sputtering eċċezzjonali," ikkummentat Greta Ropers, kap tal-backend u l-grupp tal-ippakkjar għal Fraunhofer.
"Is-sistema Spector ta 'Veeco, flimkien mas-Sirius OMS, se tiżgura li qed niżviluppaw u nipproduċu apparat ta' klassi dinjija bl-ogħla ammont ta 'fluss u ripetibbiltà tal-proċess fuq pjattaforma awtomatizzata u stabbilita."

Films irqaq ottiċi
Il-pjattaforma Spector tiġġenera films irqaq ottiċi ta 'kwalità għolja b'livelli mtejba ta' produttività u throughput, skond il-klijenti. B'differenza mill-kisi evaporattiv, films irqaq sputtered tar-raġġ tal-jone huma depożitati f'enerġiji għoljin, u jagħtu kontroll ta 'ħxuna eċċezzjonali u densitajiet baxxi ta' difetti għal applikazzjonijiet ta 'kisi bil-lejżer. .
"Il-mexxej dinji tal-Fraunhofer HHI fl-iżvilupp ta 'kisi tal-faċċata tal-lejżer tal-ġenerazzjoni li jmiss u apparat mikro-ottiku," qal Dr Adrian Devasahayam, viċi president u maniġer ġenerali tan-negozju ta' Veeco's Advanced Deposition and Etch (AD&E). "Is-sistema Spector tipprovdi kwalità u flessibilità mingħajr paragun għal films irqaq ta 'kisi ottiku ta' preċiżjoni, u se taċċellera l-għanijiet ta 'żvilupp tagħhom."
Il - finanzjament għal dan il - proġett ingħata mill - Forschungsfabrik Mikroelektronik, fabbrika tar-riċerka cross-location għall-mikroelettronika u n-nanoelettronika, li tikkomprometti ħdax-il istitut fi ħdan il-Grupp Fraunhofer flimkien mal-Innovazzjonijiet għall-Mikroelettronika ta ’Prestazzjoni Għolja u l-Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik. Is-sistema nbiegħet f'kooperazzjoni mas-sieħeb tal-kanal Ewropew ta 'Veeco,Veonis Technologies.